中央供應系統 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![中央供應系統](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
舉例系統如下A.OxideSlurrySupplySystem:適用於OxideSlurry製程之系統B.Tungsten...中央供應系統包含中央Slurry供應系統、中央供酸系統及稀釋系統,分述如下。
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中央供應系統包含中央Slurry供應系統、中央供酸系統及稀釋系統,分述如下。
中央Slurry供應系統主要依據客戶所需要之各種製程的研磨液,依據特性作稀釋或分析後,以循環方式之管路設計,不斷使研磨液在管路內保持流動以避免研磨液之沈澱所造成的影響,以提供製程機台端生產時所需之研磨液之輸送系統。
中央供酸系統之設計基準為:安全性、潔淨度、穩定性、擴充性、自動化及人性化。並依照客戶之使用量經過精準之計算出主管路末端之壓損及流量,以確保化學品之供應充足。
稀釋系統則經由精密之稀釋比例計算,並透過高解析度之濃度分析儀器作確認無誤後再供應至使用端(P.O.U.)揮發性之有機化學品更依照防爆標準設計之供應系統並透過洩漏偵測及監控系統之雙重保護,有效提高安全等級。
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