晶圓基板Load-Port設備 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![晶圓基板Load-Port設備](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
LoadPort對應晶圓厚度膜厚量測設備。可配合客戶需求進行選擇的產品量測項目(半導體Device量測・基板厚度量測・貼合晶圓量測) ...
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晶圓基板Load-Port設備 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Load Port 對應晶圓厚度膜厚量測設備。 可配合客戶需求進行選擇的產品量測項目(半導體Device量測・基板厚度量測・貼合晶圓量測) ... Read More
微汙染防治傳載系統 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
整合Loadport、Purge Unit、Laminar Flow 完整微污染防治體系. 本方案為將Brillian自有之300mm晶圓缷載模組(Loadport)產品,於硬體機構設計時納入充氣模組(Purge Unit) ... Read More
TDK load port – 弘景興業有限公司 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Brooks Wafer Sorter · ASYST PST wafer sorter · ASYST 300mm Spartan Sorter EFEM · ASYST IsoPort · ASYST load port · Rorze wafer sorter RS8221 ... Read More
Loadport | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Loadport - RV201. 由自動位置回歸固極端外又而空載或由抗失步控制使用編碼器內建之全軸步進馬達之移動實施時具有高可靠度。 由閱讀編碼器數值因精確晶片高度情報可 ... Read More
Load Port | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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精準的質量流量控制器在FOUP缷載模組的應用 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
前開式晶圓傳送盒(FOUP)缷載模組(Load Port)的功能是在等待下一個處理步驟時暫存晶圓。由於製造環境的清潔度是影響產品良率的主要因素之一,因此晶片處理和存儲設備 ... Read More
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109 年度台灣精品獎獲獎產品 Interface transfer station (ITS)
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