行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
由許光城著作·2007—微奈米壓印成形技術在軟性基板可成形性與應用在太陽能光電板...關鍵詞:熱壓印、奈米模仁、抗沾黏層、分子動...高分子材料時會增加模具下壓的困難,故會在壓.印時 ...
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【奈米壓印技術及應用研習班】 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2022年7月21日 — 小於22nm 時,製造過程會變的很複雜及困難。奈米壓印技術是一種次世代微影技術。此種技術. 利用轉印的方式可以將模板上的奈米圖形轉印至基板上。 Read More
利用自製奈米壓印機來進行奈米結構製程的研究 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
然而,當奈米結構的尺寸小於22nm時,製造過程會變的很複雜及困難。奈米壓印技術是一種次世代微影技術。此種技術利用轉印的方式可以將模板上的奈米圖形轉印至基板上。 Read More
奈米壓印 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
此技術利用光學投射方式,使光罩上的圖案縮小並轉印至晶圓上塗佈的感光層(阻劑)。 感光層在照光後容易被溶劑去除,因而曝露出晶片表面,可進一步被蝕刻;而未受光曝照到 ... Read More
奈米壓印(微影)技術簡介Introduction to Nanoimprint ... | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
奈米壓印技術比較 熱壓或壓合 脫模 高分子材料 成本 技術瓶頸 Items 模仁材料 特徵尺寸 對準:非常困難 熱壓:<150 bar、<250 C 薄膜型態:固態 適合形狀:簡單、均一 ... Read More
奈米壓印微影技術之機會與挑戰 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
本文將對奈米壓印微影技術的發展現狀及其所面臨的各項挑戰進行探討。 關鍵詞. 奈米壓印微影(Nanoimprint Lithography);印模(Stamp);圖樣(Pattern) ... Read More
奈米轉印成形技術前言 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
障礙,製程技術的困難度和生產設備的成本倍增,因此半導體產業界目前正積極 ... 子光阻的矽基板上等比例(1X)壓印複製奈米圖案,其加工解析度與模版圖案. Read More
石英基材之奈米加工技術及其在壓印上的應用 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由 李英群 著作 — 在石英材料上發展微奈米機電系統技術,最大困難在. 於加工困難度與非導電性所導致之電荷累積效應。 ... 關鍵詞:石英、母模、電子束微影、奈米壓印、光固化型奈米壓印. Read More
石英基材之奈米加工技術及其在壓印上的應用 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由 李英群 著作 · 2006 — 在石英材料上發展微奈米機電系統技術,最大困難在. 於加工困難度與非導電性所導致之電荷累積效應。 ... 關鍵詞:石英、母模、電子束微影、奈米壓印、光固化型奈米壓印. Read More
行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由 許光城 著作 · 2007 — 微奈米壓印成形技術在軟性基板可成形性與應用在太陽能光電板 ... 關鍵詞:熱壓印、奈米模仁、抗沾黏層、分子動 ... 高分子材料時會增加模具下壓的困難,故會在壓. 印時 ... Read More
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103 年度台灣精品獎獲獎產品 奈米壓印設備
由「和椿科技股份有限公司」生產的奈米壓印設備獲得103年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:奈米壓印設備...