微機電製程技術於光開關製作之應用 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由楊啟榮著作—透過微機電製程技術已實現將光開關微小化、積體化及陣列化的目標,並達到降低成.本的批次量產能力。...MEMS與微光學應用元件結合形成所謂的...複合製程技術。
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