EDS元素分析 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![EDS元素分析](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
2021年2月19日—4、信號處理和顯示系統:鑑別譜、定性、定量計算;記錄分析結果。(三)EDS的分析技術.1、定性分析:EDS的譜圖中譜峯代表樣品中存在的元素。
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EDS元素分析
一、實驗目的
1.了解能譜儀(EDS)的結構和工作原理。
2.掌握能譜儀(EDS)的分析方法、特點及應用。
二、實驗原理
在現代的掃描電鏡和透射電鏡中,能譜儀(EDS)是一個重要的附件,它同主機共用一套光學系統,可對材料中感興趣部位的化學成分進行點分析、面分析、線分析。它的主要優點有:(1)分析速度快,效率高,能同時對原子序數在11—92之間的所有元素(甚至C、N、O等超輕元素)進行快速定性、定量分析;(2)穩定性好,重複性好;(3)能用於粗糙表面的成分分析(斷口等);(4)能對材料中的成分偏析進行測量,等等。
(一)EDS的工作原理
探頭接受特徵X射線信號→把特徵X射線光信號轉變成具有不同高度的電脈衝信號→放大器放大信號→多道脈衝分析器把代表不同能量(波長)X射線的脈衝信號按高度編入不同頻道→在螢光屏上顯示譜線→利用計算機進行定性和定量計算。
(二)EDS的結構
1、探測頭:把X射線光子信號轉換成電脈衝信號,脈衝高度與X射線光子的能量成正比。
2、放大器:放大電脈衝信號。
3、多道脈衝高度分析器:把脈衝按高度不同編入不同頻道,也就是說,把不同的特徵X射線按能量不同進行區分。
4、信號處理和顯示系統:鑑別譜、定性、定量計算;記錄分析結果。
(三)EDS的分析技術
1、定性分析:EDS的譜圖中譜峯代表樣品中存在的元素。定性分析是分析未知樣品的第一步,即鑑別所含的元素。如果不能正確地鑑別元素的種類,最後定量分析的精度就毫無意義。通...
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