stepper scanner差異 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模...,2018年9月10日—Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而 ...
Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模 ... ,2018年9月10日— Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而 ...
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晶片裡面有幾千萬的電晶體是怎麼實現的? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2016年10月3日 — 若採用stepper 的step-and-expose 方式進行光刻,一個die 的區域必須能被包含在直徑32mm 的圓中,因此能獲得的最大的die 的尺寸為22×22mm;若採用scanner ... Read More
stepper scanner差異 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模 ... ,2018年9月10日— Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而 ... Read More
光刻機的工作原理及關鍵技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2019年11月12日 — 目前光刻設備按照曝光方式分為Stepper和Scanner兩種。Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模 ... Read More
曝光機 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
... 曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機(英語:stepper)或掃描式曝光機(英語:scanner),獲得比模板更小的曝光圖樣。 Read More
半導體的核心——光刻機現狀分析 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2018年9月10日 — Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模同時沿X方向移動經過曝光區動態完成整個區域的曝光。和 ... Read More
芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
scanner 比stepper 的优势在于,可以提供更大的die 的尺寸。其原因在于,对于一个固定尺寸的圆透镜,比如直径32mm 的圆(指投射后的区域大小),其允许透过 ... Read More
stepper scanner差異- 軟體兄弟 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
stepper scanner差異- 軟體兄弟-和Stepper相比,Scanner不僅圖像畸變小、一致性高,而且曝光速度也更快。所以目前主流光刻機都是Scanner,只有部分老式設備依舊..., ... Read More
SCANNER比STEPPER | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
一开始一直觉得stepper 的throughput 比scanner 的快。因为在canon 机器背后听过它的shutter 发出很紧蹙的开关声,但是看ASML scanner 曝光却很慢。 后来慢慢 ... Read More
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由「台灣電鏡儀器股份有限公司」生產的MicroInspectionSystem獲得109年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:...
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