能量色散X射線譜 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![能量色散X射線譜](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
能量色散X射線譜(EDS)常常被拿來和WDS(wavelengthdispersiveX-ray...capabilitiesandlimitationsofEDSwiththeSEM(頁面存檔備份,存於網際網路檔案館).
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大西洋中脊盲蝦外殼的能量散射X射線譜[1]。大部分的峰都來自於電子躍遷到K電子層發出的X射線(Kα線和Kβ線);其中一個峰來自於鐵的L電子層。能量散射X射線譜(Energy-dispersive X-ray spectroscopy,英文縮寫有EDS、EDX、EDXS或XEDS),有時也被稱作能量散射X射線分析(energy dispersive X-ray analysis,EDXA)或能量散射X射線微量分析(energy dispersive X-ray microanalysis,EDXMA)是一種用於元素分析和化學表徵的分析手段。該手段通過收集X射線機或其他X射線源產生的X射線和樣品交互作用時發出的X射線進行分析。由於不同元素因原子結構不同而發射譜各異,所以可以通過分析X射線譜分辨樣品所含的不同成分[2]。
激發出樣品的特徵X射線一般需要能量很高的電子束、質子束或X射線。首先,入射的電子(或質子、光子)激發出基態原子的內層電子。內層電子在離開原子後會留下電洞。外層的、處於較高能階的電子在填充這些低能階電洞的時候,多餘能量可能會以X射線形式放出。能量散射X射線譜儀收集測量的就是這些X射線的能量和強度。由於這些X射線的能量分布可以反映特定元素的原子特徵,能量散射X射線譜可被用於測定樣品中的元素組成[2]。
設備構成[編輯]能量色散X射線譜主要由以下四部分組成:
激發源(電子束或X射線源) X射線探測器 脈衝處理器 分析儀[3]電子束激發源被用於電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和掃描透射電子顯微鏡中,而X射線激發源被用於X射線螢光光譜儀中。X射線探測器可將...
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