Slurry供給系統((SDS)Slurry Distribution System) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
設備概要-ILDSTIWCuProcess用CMPSlurry稀釋供給系統(Silica,Ceria,AluminumSlurry的onsitepatch稀釋設備稀釋精度,目標比重±0.005-POU直前混合系統
產品說明
設備概要 - ILD�STI�W�Cu Process用CMP Slurry稀釋供給系統 (Silica, Ceria, Aluminum Slurry的on site patch稀釋設備 稀釋精度,目標比重±0.005- POU直前混合系統 Ceria Slurry和粉散劑的線上調和 流量精度 FS±1%
- H2O2濃度管理系統 W Slurry , Cu Slurry等的酸化劑調和系統 濃度精度,目標濃度±0.1wt%
Features • Correspondence to the various Slurry which diversify (Silica, Ceria, Aluminum base, etc) • A lot of application experience to 300mm 65nm process • Stabilization of Polishing process by periodical cleaning by an automatic cleaning system • Adoption of materials and parts in consideration of Slurry properties of matter (tank, Pump, Valve, etc) • Various patent technology for Slurry system (a mixture for mixing, concentration management, particle monitor, etc)
三菱化學工程-Slurry 供給系統
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