歐菲科技)股份有限公司 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
...需求的程序和設備,例如:利用伯努利原理或是根據客戶個別要求所採用的真空技術。...對位儀(pre-aligner),再移送到外觀檢查系統,再返回到晶圓盒FOUP/晶圓匣內。
... 需求的程序和設備,例如:利用伯努利原理或是根據客戶個別要求所採用的真空技術。 ... 對位儀(pre-aligner),再移送到外觀檢查系統,再返回到晶圓盒FOUP/晶圓匣內。
Wafer Aligner pre aligner原理 stepper曝光機原理 Overlay KLA alignment mark原理 overlay量測原理 曝光解析度 顯影槽的主要顯影方式演進 wafer aligner原理 aligner半導體 晶圓尋邊器 Aligner Mask Aligner Pre Aligner Wafer Robot SMIF Opener 程泰機械股份有限公司中科分公司 程泰機械小三 智慧振動感測器SVI系列 SA150T 矩陣 選擇器 智慧家庭推薦 Apacer 維修中心 益網 電 商
wafer aligner原理 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
於晶圓(wafer)表面。 光罩在要求的公差之內,在晶圓上對準,然後輻射照在晶圓之上,阻劑影像顯影(development),阻劑下層被蝕刻掉。 ... Pre-Aligner. 首頁>產品介紹> ... Read More
半導體設備精密對位技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
本文就晶圓接合機和曝光設備對位原理作介紹,探討精密對位技術之發展初況。 ... first wafer image in back-side alignment with mechanical coarse alignment of less ... Read More
第一章緒論 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由 吳國裕 著作 · 2007 — 感光劑(PAC)為光阻的感光成分,其主要原理大概可分為兩類,一為接受光源能量 ... 部的晶粒對準( Wafer Die Alignment) ,精確定出每個晶粒相對於晶圓平台的位置。 Read More
曝光機 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機(英語:stepper)或掃描式曝光 ... Read More
半導體微影製程疊對控制之研究The Study of Semiconductor ... | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
3.1.1 光罩熱膨脹的原理(Principle Of Thermal Expansion) ... 4.2 Alignment 的原理(Alignment Principle) ... 圖2-15(a) overlay wafer term向量分析 ... Read More
High Precision Non | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Stand-Alone Pre | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
夾頭配備兩個伺服軸,X和Y,使之移動到基板下方(當時固定在引腳上)並且補償任何偏差。獨立式預對準器的操作包括晶圓位移測量,必要補償的計算和槽口(或平面)與所需角度 ... Read More
歐菲科技)股份有限公司 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
... 需求的程序和設備,例如:利用伯努利原理或是根據客戶個別要求所採用的真空技術。 ... 對位儀(pre-aligner),再移送到外觀檢查系統,再返回到晶圓盒FOUP/晶圓匣內。 Read More
黃光微影製程技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
exposed by aligner, stepper or scanner. - Post Exposure Bake (PEB). 3. Developing ... (1)dispense resist - flood wafer ... 類似投影機原理,將光罩上的圖. Read More
相關資訊整理
109 年度台灣精品獎獲獎產品 Micro Inspection System
由「台灣電鏡儀器股份有限公司」生產的MicroInspectionSystem獲得109年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:...
108 年度台灣精品獎獲獎產品 數位影像掃瞄系統
由「奇祁科技有限公司」生產的數位影像掃瞄系統獲得108年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:數位影像掃瞄...
106 年度台灣銀質獎獲獎產品 晶圓機器人
由「上銀科技股份有限公司」生產的晶圓機器人獲得106年度台灣銀質獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:晶圓機器人獎項...