利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
這就是MEMS...微機械製造(Micromachining)技術是利用半導體的製程來製造微小的懸臂樑、薄板、齒輪、閥門等機械元件,這些元件的尺寸甚至可小於微米(百萬分之一公尺 ...
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資訊電子是我國高科技產業的龍頭。近年來,我國已經在個人電腦主機板、掃描器等多項產品的產量上高居世界第一位,但其獲利卻仍比不上僅佔全世界不到5%的IC代工業,而我國的IC製業利潤又比不上設計及製造微電腦中央處理晶片(CPU)的英代爾(Intel);理由是製造勝於組裝,而設計更優於製造。靠勞力的組裝工業時代已經過去,目前依賴設備生產力的量產製造時代已接近尾聲,未來是靠腦力的智慧商品化時代。
近半個世紀以來,微電子從粗糙的單一電晶體到集有數百萬顆電晶體的微電腦晶片,人類已經享受到它所帶給我們的無窮的方便與樂趣。如今,微電子產品幾乎無孔不入地影響到生活的每一個面向,而這不過是把電子這一部份縮小而已。試想,若也能同樣把 機械與光學部份縮小,是否會為我們的生活帶來另一波的衝擊?從另一個角度來看,若把微電腦比同腦部,我們是否仍欠缺感受與發出各類信息的眼、耳、鼻、舌與四肢?微 機電系統(MEMS)的科技就是這種能縮小機械、光學,且能感受聲、光、電、磁、味、冷、熱以及運動的系統科技,將是廿一世紀重要的產業科技,是智慧型高單價的產業技術。
這就是MEMS微機械製造(Micromachining)技術是利用半導體的製程來製造微小的懸臂樑、薄板、齒輪、閥門等機械元件,這些元件的尺寸甚至可小於微米(百萬分之一公尺)。因此該技術可被利用來製造出和頭髮直徑一般大小之馬達。在1960年代中期,利用半導體製程製造機械結構於矽晶片上的概念被提出後,吸引了許多人投入該技術的研究。到了1970年代中期,利用該技術製造結合機械和電子元件的半導體感測器,成功地被開發。1980年後,和該技術相關的研究,如雨後春筍般的被提出,而研究內容也不侷限於感測器,還包含一些複雜的機構與元件,如幫浦、閥門、齒輪、馬達、夾子等等。一門新的研究領域稱為微機電系統(Microelectromechanical System,或簡稱MEMS),歐洲則普遍稱之為微系統技術(Microsystems Technology,或簡稱MST)因而成立。由於這項技術的逐漸成熟以及應用的範圍逐漸...
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