熱質量流量控制器的基本知識(一)熱質量流量計概述 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![熱質量流量控制器的基本知識(一)熱質量流量計概述](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
2020年7月17日—即使通稱為「流量計」,流量的測量原理也可分為很多種。取決於測量目的、測量目標、環境、成本和其他條件。「熱質量流量控制器的基本知識」, ...
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即使通稱為「流量計」,流量的測量原理也可分為很多種,每種都有其優缺點。要選擇哪種流量計可說是非常困難,因為這取決於測量目的、測量目標、環境、成本和其他條件。
本頁面以「熱質量流量控制器的基本知識」為主題,內容將涵蓋熱質量流量計的原理和與其他類型流量計之比較,以及本公司流量感測器流量計的說明和各種應用,並分三個章節講述。
希望能有助於所有考慮使用流量計的人。
第一章 熱質量流量控制器概述 1.1. 熱質量流量控制器質量流量計作為一種考慮到溫度和壓力的質量測量方法,使用了相對較新的測量原理,近年來已迅速普及於較嚴密之測量和氣體等可壓縮流體應用。質量流量計大致可分為科氏型(Coriolis)和熱式型(thermal)。這次,我們將主要說明用於測量蒸汽以外之氣體流量的熱質量流量計,以及本公司的質量流量控制器。
熱質量流量計的歷史其歷史相對較短,一般認為起源於太空總署的火箭開發測試和研究應用。在此之後,由於半導體製造工業的快速發展,在諸如擴散爐之類的半導體薄膜製程中獲得顯著進展。近年來的應用領域以工廠節能目的之單位耗能管理、適當使用量管理、分區管理為首,到燃料電池、醫療、生物等實驗測試,以及天然氣商業、醫院的氣體使用量管理等等,正在迅速增加。
熱質量流量控制器的原理從原理公式開始說明的話會有點難懂,因此本節對此只進行簡單說明。簡單來說,其原理是利用氣體的熱擴散效應進行流量測量。因為傳播的熱量隨氣體壓縮程度而變化,感測器本身具有與質量流量成比例的輸出特性。由於氣體是可壓縮流體,因此有必要通過波以耳─查爾斯定律進行溫度/壓力校正,以在我們熟悉的體積流量計中進行精確測量。熱質量流量計經過調整參考流量後,可以精密地測量質量流量。
1.2. 熱質量流量控制器的分類按測量傳感測器分類時,主要有毛細管型、熱線型和半導體型(流量感測器型)。
(1) 毛細管型此為推測式測量方法,在稱為層流元件的整流部分中設置旁...
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