MOCVD 磊晶製程參數系統優化技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![MOCVD 磊晶製程參數系統優化技術](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
MOCVD磊晶製程參數系統優化技術·摘要:工研院研發的可視化磊晶製程參數優化系統(CyberEpi)是屬原創性極高之製造數位化技術,不同於傳統人為設定操作參數的決策。·關鍵 ...
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黃智勇、林義鈞、陳冠州、張森嘉、陳德銘、張語軒
刊登日期:2019/05/31
摘要:工研院研發的可視化磊晶製程參數優化系統(CyberEpi)是屬原創性極高之製造數位化技術,不同於傳統人為設定操作參數的決策。CyberEpi軟體套件包括五個主要模組:SimEpi,FlowEpi,OptiEpi,LibEpi和OptiEpi Plus等,使用者可快速驗證磊晶的流場與化學反應(SimEpi)耦合模擬結果,透過創新的流場可視化平台(FlowEpi)和製程參數最佳化(OptiEpi)之精確模型校準。為了突破多重物理耦合模型的分析模擬極限,以提昇本系統的準確度,乃進一步導入AI品質手法「AI-enhanced Simulator」,以應用於MOCVD薄膜製程之特性研究。 Abstract:ITRI’s CyberEpi, differs from traditional manual control method is a pioneering digital determination technology for MOCVD epitaxy process. The CyberEpi software suite includes five main modules: SimEpi, FlowEpi, OptiEpi, LibEpi and OptiEpi Plus. Users can quickly conduct coupled simulations of epitaxial flows and chemical reactions (SimEpi) through the precise model calibration using an innovative flow visualization platform (FlowEpi), and the process parameter optimization (OptiEpi) of deposition experiments. I...
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