軟微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
軟微影技術(softlithography),又稱軟微影製程、可撓性奈米轉印、軟蝕刻技術或軟光刻技術,是一種用軟性高分子材質做成的可撓性刻印的模具,在模具上面塗佈具有自我 ...
軟微影技術(soft lithography),又稱軟微影製程、可撓性奈米轉印[1]、軟蝕刻技術或軟光刻技術,是一種用軟性高分子材質做成的可撓性刻印的模具,在模具上面塗佈具有自我組合性能的單元分子(SAM, Self-Assembly Monomer)後,像印章一樣,在鍍金的薄膜基板上微壓,把奈米圖形模子上面凸出部分的自我組合性能的單元分子(SAM)像油墨一樣的印在金薄膜上[1]。
Figure 1 - "Inking" a stamp. PDMS stamp with pattern is placed in Ethanol and ODT solution Figure 2 - ODT from the solution settles down onto the PDMS stamp. Stamp now has ODT attached to it which acts as the ink. Figure 3 - The PDMS stamp with the ODT is placed on the gold substrate. When the stamp is removed, the ODT in contact with the gold stays stuck to the gold. Thus the pattern from the stamp is transferred to the gold via the ODT "ink."軟微影技術具有一些獨特的優勢比其他形式的微影(光刻)技術(如光刻和電子束光刻)。 它們包括以下內容: 1.更低的成本比傳統微影技術大量生產。 2.非常適合應用在生物技術。 3.非常適合應用在...
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微影 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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