Slurry 系統 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
設備概要-ILDSTIWCuProcess用CMPSlurry稀釋供給系統(Silica,Ceria,AluminumSlurry的onsitepatch稀釋設備稀釋精度,目標比重±0.005-POU直前混合系統,中央Slurry供應系統主要依據客戶所需要之各種製程的研磨液,依據特性作稀釋或分析後,以循環方式之管路設計,不斷使研磨液在管路內保持流動以避免研磨液之沈澱所造成的影響 ...,...化製程(Chemical-MechanicalPolishing;CMP)之間的重要橋梁,顯示化學研磨液混料傳輸系統(SlurryDispensingandDeliverySystem;SDS)精準提供功能的重要性。,2018年7月26日—廠房設施項目眾多,舉凡包括水、...
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Slurry供給系統((SDS)Slurry Distribution System) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
設備概要 - ILD STI W Cu Process用CMP Slurry稀釋供給系統 (Silica, Ceria, Aluminum Slurry的on site patch稀釋設備稀釋精度,目標比重±0.005 - POU直前混合系統 Read More
中央供應系統 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
中央Slurry供應系統主要依據客戶所需要之各種製程的研磨液,依據特性作稀釋或分析後,以循環方式之管路設計,不斷使研磨液在管路內保持流動以避免研磨液之沈澱所造成的影響 ... Read More
亞泰半導體揭化學研磨液供應系統嶄新一頁 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
... 化製程(Chemical-Mechanical Polishing;CMP)之間的重要橋梁,顯示化學研磨液混料傳輸系統(Slurry Dispensing and Delivery System;SDS)精準提供功能的重要性。 Read More
半導體高科技廠房設施最適化研磨液供應系統 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2018年7月26日 — 廠房設施項目眾多,舉凡包括水、電、氣、化、環安等構面;其中,研磨液輸送系統(Slurry Dispensing/ Distribution System;SDS)為供應平坦化製程中 ... Read More
服務項目 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
研磨液供應機台. Slurry Dispense System,SDS. 宸沅國際提供晶圓廠、封測等工業高精準度快速混酸及供應系統,可適用於化學機械平坦化(CMP)各項製程使用 ... Read More
研磨液供應系統 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
現場工程管路施工. 應用產業:. 半導體製程. 系統設備. Local Slurry Supply System. 應用項目:中 ... Read More
研磨液供應系統(Slurry Supply System) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
Local Slurry Supply System ... 應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨 ... Read More
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