Spin on dielectric 中文 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
旋塗式玻璃(spin-onglass;SOG)是形成薄膜也是平坦化一種方式,將溶於溶劑中的介電物質旋轉塗佈在需要平坦化的晶片上,使介電物質隨著溶劑填入溝渠中,再經過高溫固化, ...,防止漏电的SOD(Spin-onDielectrics)是用于硅薄膜制备工艺的涂覆物质,在半导体的晶体管与晶体管之间起到绝缘作用。硅薄膜制备工艺原先是利用CVD(化学气相 ...,SiLK以寡聚物溶液的形式提供,通過spincoating到矽片上後在氮氣下加熱到320攝氏度去除溶劑並初步交聯。最終需要在400攝氏度以上保溫來完成交聯。,提供塗佈式玻璃SOG(Spin-on-Glass)/SOD(Spin-on-D...
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Spin on Glass (SOG) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
旋塗式玻璃 (spin-on glass; SOG) 是形成薄膜也是平坦化一種方式,將溶於溶劑中的介電物質旋轉塗佈在需要平坦化的晶片上,使介電物質隨著溶劑填入溝渠中,再經過高溫固化, ... Read More
三星SDI电子材料 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
防止漏电的SOD (Spin-on Dielectrics)是用于硅薄膜制备工艺的涂覆物质,在半导体的晶体管与晶体管之间起到绝缘作用。硅薄膜制备工艺原先是利用CVD(化学气相 ... Read More
低介電係數材料 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
SiLK以寡聚物溶液的形式提供,通過spin coating到矽片上後在氮氣下加熱到320攝氏度去除溶劑並初步交聯。最終需要在400攝氏度以上保溫來完成交聯。 Read More
半導體材料 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
提供塗佈式玻璃SOG(Spin-on-Glass)/SOD(Spin-on-Dopant)液體溶液。利用旋轉、噴塗或浸塗法於基板上形成固體薄膜介質層(thin film dielectric layer)。 Read More
半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2020年10月21日 — 中文(台灣) English(US) Q&A 線上人數:55 ... 何謂dielectric 蝕刻(介電質蝕刻)? ... 答:(1)Spin Dryer (2) Marangoni dry (3) IPA Vapor Dry. Read More
旋轉塗佈技術之低介電材料於薄膜電晶體研究分析 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
詳目顯示 ; Research on low dielectric materials with spin coating technology for TFT application · 沈志雄 · 碩士 · 國立彰化師範大學 · 機電工程學系. Read More
旋轉塗佈技術簡介 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
旋轉塗佈技術簡介. Introduction of Spin Coating ... 板材(Patch):Glass, Stainless Steel, PMMA ... 塗液使用率過低(~2%),大部分於Spread Spin. 階段損耗。 Read More
薄膜沈積製程技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
CVD: chemical reactions on surface for silicon and dielectrics ... Spin-on deposition : e.g., spin-on-glass (SOG) for topography. Read More
默克跨足半導體材料有成旋塗式介電材料受青睞 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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