Local Slurry Supply System | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。
應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。
系統特色: 雙Pail搭配雙Mixing/Supply Tank達成供應不中斷之需求。 H2O2以高精度之獨立磅秤計量,提高混酸精度。 具雙混雙供、單混單供之雙重運作模式,增加系統運行效能。 Load Cell控制混合比例與不同調配需求,並有液位計雙重保護之機制。 自動桶槽清洗與全系統自動清洗雙功能,降低維護之人力損耗。 Filter Auto Flush功能。 AIC即時檢驗Slurry品質。安全規範:符合SEMI-S2設計規範
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Central Slurry Supply System | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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Local Slurry Supply System | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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Local Slurry Supply System | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
应用项目:中小型供应系统,将研磨液依制程需求精准混制并安全地输送至CMP制程机台,以满足各CMP制程之需求,适合新制程研发或量产前期研磨液供应使用。 Read More
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