研磨液供應系統(Slurry Supply System) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
LocalSlurrySupplySystem.應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台 ...
提供研磨液供應系統 (Slurry Supply System) Turn-key服務,具高精準度的劑量控制及勻質混合設計,針對不同Slurry使用適當的度量及供應方法。
系統設計範圍: 研磨液供應機台設計與製造 儀電工程設計 現場工程管路施工
應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。
系統特色: 雙Pail搭配雙Mixing/Supply Tank達成供應不中斷之需求。 H2O2以高精度之獨立磅秤計量,提高混酸精度。 具雙混雙供、單混單供之雙重運作模式,增加系統運行效能。 Load Cell控制混合比例與不同調配需求,並有液位計雙重保護之機制。 自動桶槽清洗與全系統自動清洗雙功能,降低維護之人力損耗。 Filter Auto Flush功能。 AIC即時檢驗Slurry品質。應用項目:大型中央供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合量產廠區研磨液供應使用。
系統特色: 管路除泡機制 優化流體管路設計 回流噴嘴增進攪拌效能 Wet N2 防止桶壁結塊 流體 壓力/流量/溫度 即時監測 pH/SG/AIC 品質監控 系統自動安全防護機制 Load Cell/Flow meter 混比控制模式...
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