SEM测试能谱eds | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![SEM测试能谱eds](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
2021年6月23日—能谱EDS的采样深度大约为1μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。
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在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对能谱EDS[1]不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析(SEM能谱一般只能测C(含C)以后的元素,其他元素也能做但是不准,不建议做)。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析,两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的相对含量,测试准确性较高,常用于显微结构的成分分析。面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察。
图1对样品的某一位置进行能谱点扫得到的元素图
表1样品的相对元素含量
Element
Weight %
Atomic %
Error %
C K
48.96
54.94
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