靶材的制作方法、分类及应用 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![靶材的制作方法、分类及应用](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
2019年3月7日—目前靶材的制备主要有铸造法和粉末冶金法。铸造法:将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金溶液浇注于模具中,形成铸锭,最后经机械加工制成靶材, ...
![靶材的制作方法、分类及应用](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
目前靶材的制备主要有铸造法和粉末冶金法。
铸造法:将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金溶液浇注于模具中,形成铸锭,最后经机械加工制成靶材,铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等,其优点是靶材杂质含量(特别是气体杂质含量)低,密度高,可大型化;缺点是对熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属,普通熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材。
粉末冶金法:将一定成分配比的合金原料熔炼,浇注成铸锭后再粉碎,将粉碎形成的粉末经等静压成形,再高温烧结,最终形成靶材,其优点是靶材成分均匀;缺点是密度低,杂质含量高等,常用的粉末冶金工艺包括冷压、真空热压和热等静压等。
一、根据不同材质靶材可分为:金属靶材,陶瓷(氧化物、氮化物等)靶材,合金靶材。 二、根据不同应用方向可分为(了解)
1、半导体关联靶材: 电极、布线薄膜:铝靶材,铜靶材,金靶材,银靶材,钯靶材,铂靶材,铝硅合金靶材,铝硅铜合金靶材等。 储存器电极薄膜:钼靶材,钨靶材,钛靶材等。 粘附薄膜:钨靶材,钛靶材等。 电容器绝缘膜薄膜:锆钛酸铅靶材等。 2、磁记录靶材: 垂直磁记录薄膜:钴铬合金靶材等。 硬盘用薄膜:钴铬钽合金靶材,钴铬铂合金靶材,钴铬钽铂合金靶材等。 薄膜磁头:钴钽铬合金靶材,钴铬锆合金靶材等。 人工晶体薄膜:钴铂合金靶材,钴钯合金靶材等。 3、光记录靶材: 相变光盘记录薄膜:硒化碲靶材,硒化锑靶材,锗锑碲合金靶材,锗碲合金靶材等。 磁光盘记录薄膜:镝铁钴合金靶材,铽镝铁合金靶材,铽铁钴合金靶材,氧化铝靶材,氧化镁靶材,氮化硅靶材等。
光盘反射薄膜:铝靶材,铝钛合金靶材,铝铬合金靶材,金靶材,金合金靶材...
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