曝光機 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
...曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機(英語:stepper)或掃描式光刻機(英語:scanner),獲得比模板更小的曝光圖樣。
... 曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機(英語:stepper)或掃描式光刻機(英語:scanner),獲得比模板更小的曝光圖樣。
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Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2020年10月22日 — 半導體製程的光刻機為用一塊極精細圖案的玻璃底板,透過高性能的縮小成像鏡頭,對塗有感光材料的矽片進行強烈雷射照射的自動化曝光設備。 Read More
全方位微影技術介紹 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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