Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2020年10月22日—半導體製程的光刻機為用一塊極精細圖案的玻璃底板,透過高性能的縮小成像鏡頭,對塗有感光材料的矽片進行強烈雷射照射的自動化曝光設備。
當今世界光刻機三大製造商是:日本 Nikon、Canon 和荷蘭 ASML,日本 Nikon 和 Canon 都是知名百年老牌照相機製造商,ASML 則是 1984 才成立的合資公司,但如今 ASML 光刻機(曝光機)享譽全球,聲勢更超越 Nikon。ASML 後發制人卻能邁向成功,這是怎麼做到的?《科技新報》取得「若葉 ヒロユキ[1]」授權轉載,以下為他的見解。
半導體製程的光刻機為用一塊極精細圖案的玻璃底板,透過高性能的縮小成像鏡頭,對塗有感光材料的矽片進行強烈雷射照射的自動化曝光設備。這塊矽片通常叫晶圓。
一台光刻機綜合了光學、機械、化學、軟體等眾多高技術要素,擔任半導體製造最重要的部分,一台光刻機通常差不多與一輛 2 噸卡車一樣大。
模組化革命的關鍵現在最先進細微化電路設計採用的 DUV(深紫外線)類型的光刻機,市場年供求量約為 200~300 台,最新機型價格約 6 億美元,對製造商來說要採購這種設備,通常會慎重考慮,且由於產品開發週期的競爭形勢大致 2 年換代,因此新手加入競爭圈相當不易。這不僅是設備本身昂貴,還在於一代代生產現場積累起來的技術。
當今光刻機製造商只剩下 3 家公司,就是日本 Nikon、Canon 和荷蘭 ASML。日本 Nikon 和 Canon 都是世界知名有近百年歷史的老牌照相機製造商,而 ASML 是 1984 由荷蘭飛利浦一個部門和 ASM International 共同出資成立的合資公司。ASML 同時還是商社,所以採購能力很強是一大特徵,這造成後來光刻機的歷史進程差異。
▲ Canon DUV 光刻機。(Source:Canon[2])
2000 年以前,世界最先進細微化製程的半導體光刻機市占率完全是 Nikon 的天下,但 10 年後的 2010 年,ASML 的細微化光刻機市占率擴大到 80%,Nikon 只占 20%,Canon 則更早...
Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
全方位微影技術介紹 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
半導體解密:ASML光刻機憑什麼能一廠獨大?台積電總能買到 ... | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
曝光機 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
曝光機 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
第一章緒論 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
黄光制程简介 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
106 年度台灣銀質獎獲獎產品 晶圓機器人
由「上銀科技股份有限公司」生產的晶圓機器人獲得106年度台灣銀質獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:晶圓機器人獎項...
108 年度台灣精品獎獲獎產品 數位影像掃瞄系統
由「奇祁科技有限公司」生產的數位影像掃瞄系統獲得108年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:數位影像掃瞄...
104 年度台灣精品獎獲獎產品 EUV 光罩傳送盒
由「家登精密工業股份有限公司」生產的EUV光罩傳送盒獲得104年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:EUV光罩...
103 年度台灣精品獎獲獎產品 多功能光罩清洗機
由「家登精密工業股份有限公司」生產的多功能光罩清洗機獲得103年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:多功...
109 年度台灣精品獎獲獎產品 Micro Inspection System
由「台灣電鏡儀器股份有限公司」生產的MicroInspectionSystem獲得109年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:...
103 年度台灣精品獎獲獎產品 450晶圓傳送盒
由「家登精密工業股份有限公司」生產的450晶圓傳送盒獲得103年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:450晶圓...