探針卡接觸探針的觀察、量測 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
探針卡是在LSI製造的前製程中用於矽晶圓檢查製程的檢查器具,圓形的印刷電路板上裝備了一組經過精密組裝的探針接腳(探針)。進行電氣測試時,會將這些配置於印刷電路板上 ...
探針卡是在LSI製造的前製程中用於矽晶圓檢查製程的檢查器具,圓形的印刷電路板上裝備了一組經過精密組裝的探針接腳(探針)。 進行電氣測試時,會將這些配置於印刷電路板上的探針接腳尖端同時接觸晶圓上形成的大量LSI晶片。不只能辨別開路(斷線)或短路,還能用來量測電流及高頻等。進行檢查時,一般會在晶圓檢查裝置的針測機上搭載探針卡,讓探針卡從上方接觸置於載物台的晶圓晶片,進行檢查。
探針卡的探針排列與探針固定方法有幾種結構不同的類型。以下列舉兩種代表性的探針卡與特徵。
這是將有垂直固定的探針塊安裝於印刷電路板的探針卡。探針排列的自由度較高,可排成格狀及多個量測用等,也能一個一個替換探針,易於維護。不只凹痕較小,也不會對焊錫造成損傷。但它的成本較高,不太適合用於晶圓的鋁墊(鋁製的電極墊:Al pad)。
這是將鎢等材質的針直接固定於印刷電路板的探針卡。 成本較垂直型低,能以更窄的間距排列探針,也可以因應鋁墊的需求。但接腳的配置限制比垂直型多,凹痕也較大。需要定期修理與調整高度等,維護比較耗費心力跟時間。
接觸探針是用來接觸各種電子零件的電極,進行導通檢查的檢查器具。被廣泛運用於各種電子零件的檢查上。能檢查的電子零件對象眾多,包含半導體、液晶面板、空板、封裝印刷電路板、連接器、電容器、感測器、電池等。 檢查內容除了導通確認外,還有收集零件在電路中動作的檢查(電路測試)用資料,以及在功能檢查(功能測試)時確認動作等。具體範例包含開路(斷線)及短路、高頻量測及阻抗(電阻值)的檢查,以及電路中零件的參數檢查等。 ...
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