浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![浸潤式微影技術](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
2013年10月13日—光波在真空裡面大概是193奈米的波長,它到了水之後,因為水的那個折射率是1.44,普通在真空是1,所以到了水裡,波長從193掉到134奈米,光的波長減短了,那 ...
![浸潤式微影技術](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
把一根筷子放進水中,您會看到它彷彿折斷了一樣,這個現象叫做「折射」。不可思議的是,就是跟這個簡單現象類似的原理,造就了臺灣今天在積體電路製造上,生產得如火如荼的28奈米製程。我們也特別為您訪問到西澤潤一獎得主林本堅本人,為您介紹關鍵的「浸潤式微影技術」。
林本堅:「我們所謂「微影」是把一個光罩,上面一些電路的圖形,給它縮小印在晶片上。這究竟是有多小呢?那個時候,我們在做65奈米世代的時候,假使你把網球的絨毛切出來,那個截面積上面可以放3,200個電晶體。」
既然「微影」是透過曝光,把電路的圖形縮小印在晶片上,那麼,印出電路圖的線寬愈細,元件就會愈精密。然而,在線寬縮到65奈米的時候,全球的半導體產業卻遇到了技術瓶頸。於是林本堅提出了他的構想,就是從微影製程所使用的,波長193奈米的紫外光著手。
林本堅:「那時候我們覺得已經做到極限了,我們頂多能把它再縮一點,縮到55奈米,再縮不下去了。那怎麼辦?後來呢,根據光學的原理,我們就放點水在那個鏡頭的下面,就是在鏡頭跟晶片之間填滿了水。光波在真空裡面大概是193奈米的波長,它到了水之後,因為水的那個折射率是1.44,普通在真空是1,所以到了水裡,波長從193掉到134奈米,光的波長減短了,那它的解析度也就會增加了。」
這種「加了水」的微影技術,就叫做浸潤式微影技術。透過它,以及其他相關技術的發展,人類成功地讓晶片愈來愈精密,電路的線寬愈來愈細。剛剛提到在65奈米的世代,網球絨毛的小小截面積上,可以放3,200個電晶體。到了40奈米就會加倍,可以放6,400個電晶體。之後繼續發展28奈米、20奈米、16奈米線寬的技術,未來到了10奈米,在同樣的截面積上,可以放100,000個電晶體,效益相當可觀。
全球最早提出浸潤式微影技術的林本堅表示,由於臺灣在相關領域...
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