正式運作最尖端ArF濕浸式微影光源「GT66A」 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![正式運作最尖端ArF濕浸式微影光源「GT66A」](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
2021年10月27日—...半導體微影光源製造商Gigaphoton株式會社(總公司:栃木縣小山市;...最尖端的ArF濕浸式微影光源「GT66A」已在世界半導體廠正式運作中。
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360°科技-浸潤式微影 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2007年5月23日 — ... 透過光罩在晶圓上顯影;而浸潤式微影(immersion lithography)則是以水 ... 是「濕式」機台,也是浸潤式微影技術迄今,發展到第5代的最成熟浸潤式 ... Read More
CN1949082A | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
本发明有关于一种浸润式微影方法及系统,该一种浸润式微影方法,首先,提供一个涂布光阻层的基板;之后,在基板和微影系统的物镜间配置导电浸润流体;最后, ... Read More
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
因為他,193奈米浸潤式微影方式問世,改寫全世界半導體微影藍圖;因為他, ... 因為在浸潤式微影(Immersion Lithography)技術上的成就,台積電奈米影像技術研究發展 ... Read More
林本堅發明浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2021年4月12日 — 光學微影是半導體重要的關鍵技術,林本堅被稱為微影技術的先驅者,當前全球半導體高階製程所用的浸潤式微影技術,就來自他的發明;他也是中研院第一位 ... Read More
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浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天? | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2012年12月20日 — 1900年代,浸潤式顯微鏡技術已經成為科學。 上述原理是利用光通過液體介質時會彎折的特性──把筆直的筷子插在裝滿水的玻璃杯 ... Read More
浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2013年10月13日 — 光波在真空裡面大概是193奈米的波長,它到了水之後,因為水的那個折射率是1.44,普通在真空是1,所以到了水裡,波長從193掉到134奈米,光的波長減短了,那 ... Read More
浸潤式微影技術的問世與挑戰 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2022年8月14日 — 大量的資金投入,各大公司的研發都苦於解決問題時,林本堅院士從微影技術上下手,提出從傳統的乾式微影,轉移成浸潤式濕式微影技術。這項技術的原理, ... Read More
簡單的光學突破3C 科技瓶頸:浸潤式微影 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由 林育詩 著作 · 2008 — 浸潤式微影利用簡單的物理光學原理,包含折射、繞射與鑑別度,可以. 同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統,搭配浸潤式微影,可以達到更. 短光源波長的效果,對IC ... Read More
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