用「光」的藝術翻轉晶片發展「浸潤式微影之父」林本堅如何 ... | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2022年3月21日—因為林本堅發明並大力推廣浸潤式微影,使得摩爾定律得以持續延伸,並為台積電進一步奠定領先優勢。解決科技難題的尋光之旅.半導體產業中的微影技術, ...
一場疫情,讓全人類的生活模式瞬間翻轉;一顆IC晶片的不斷快速進化,讓所有科技想像成為可能。當半導體成為全球必爭戰場,下一個創新來自何處、下一個世紀的IC晶片又將帶領我們到何處?
「浸潤式微影之父」林本堅曾以浸潤式微影技術改寫全球半導體發展史,在這位曾寫下業界傳奇的大師眼中,下一個傳奇將如何誕生?
在半導體產業裡,有所謂「摩爾定律」一詞,意思是積體電路上可以容納的電晶體數量,約隔一到兩年就會增加一倍,讓更小、更強大的裝置得以出線,推進全球科技發展以「倍數」的方式不斷加速演進。然而這個定律,其實也曾一度遇到瓶頸。
2002年,全球半導體晶片製程還在使用乾式曝光,也就是以空氣作為鏡頭和晶元之間的介質,當時業界已經耗費將近10億美元在乾式微影技術的研發,卻始終無法取得進展,林本堅在美國一場研討會中提出「以水作為193奈米浸潤式的介質,可以超越157奈米」的理論,為業界投下震撼彈,全球半導體發展就此轉向。因為林本堅發明並大力推廣浸潤式微影,使得摩爾定律得以持續延伸,並為台積電進一步奠定領先優勢。
解決科技難題的尋光之旅半導體產業中的微影技術,可以想像成照相、沖洗底片時,把景物感光在底片上那樣,將電路為縮成極小的圖案,投影在光阻上,而林本堅對於「光」的興趣,其實也和照相有關。
林本堅本人一生更獲獎無數,曾10度獲選美國IBM傑出發明獎、傑出貢獻獎、2008年當選美國國家工程學院院士等,更在2014年獲選為台灣中研院院士,成為台灣最高學術殿堂首位企業界院士。
扭轉業界思維 挑戰想像的極限林本堅是如何想到像「以水為媒介」這樣扭轉業界的創新靈感?他分析:「靈感有兩種,第一種是命題的靈感,其次是解題的靈感。例如現在有些電阻、電容、電晶體,每一種個別來做,忽然有一個靈感是把三種一起處理,就變成IC,這是命題的靈感。」
命了題之後,就要深入了解、尋找解題的方式,但有時絞盡腦汁依舊找不到最佳解方,這時候如何挑戰想像的極限?林本堅說,其實靈感或發明需要花費很多力氣,並非瞬間就能不勞而獲的。「...
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