台積電「浸潤式微影之父」林本堅出任清大半導體學院院長 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
7天前—他在台積電任職期間發明的「浸潤式微影技術」,最終讓業界放棄在乾式技術投資逾10億美元,並且被艾司摩爾(ASML)看重及採用,自此展開台積電與ASML ...
本文來自合作媒體中央社,INSIDE 授權轉載。[1]
辦公桌、櫃子、沙發,幾乎將整個空間塞滿,屋內沒有對外窗,宛如鞋盒般大小的空間,很難相信這是外界譽稱台積電「研發 6 騎士」之一的林本堅目前在清華大學半導體學院的辦公室。
清大半體學院去年剛成立,學院大樓還在興建中,林本堅只好暫時窩在沒有窗戶的簡陋辦公室,昔日業界同僚來訪時驚訝直呼「你怎麼在鞋盒裡辦公?」林本堅卻不以為意。
專訪當天,他興致勃勃向中央社記者展示他放在電腦前,自製的護眼投影幕;這位被譽為「浸潤式微影之父」的大師,眼中流露的盡是科學家發明的熱情。
他 20 年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進 6 個世代;20 年後,產業面臨空前的人才困境,80 歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大半導體學院院長,成為台灣護國神山群的堅強後盾。
被譽為半導體界愛因斯坦的他,是美國國家工程學士、中研院院士,更是學術界公認的神級人物,為何不像其他台積電退休高層,周遊列國享福,卻要親自出馬做這樣吃力的工作?他僅淡淡地說:「我覺得這好像是我應該做的事情。」
一身簡單幹練的灰色襯衫配上卡其色長褲,他接受中央社團隊專訪時,眼神清亮,沒有嚴厲高管氣勢,反倒像是他的暱稱「Burn 爺爺」般,渾身散發溫暖、智慧的氣質。
「Burn 爺爺」在台積電地位崇高,他和前資深研發處長梁孟松、楊光磊、前營運長蔣尚義、前技術長孫元成、前研發副總經理余振華等 6 人,被譽為台積電研發 6 騎士。
林本堅是越南僑生,靠著優秀的研究頭腦,一路讀書都很順遂,高三時回台灣新竹中學唸書,短短一年後,無需僑生加分即考取台大電機系。大學畢業後赴美國求學,在俄亥俄州立大學取得博士,畢業後即被 IBM 研究中心延攬,在 IBM 一待就是 22 年,隨後退休自行創業。
沒想到,美國創業 9 年後,他的人生在 57 歲那年迎來大轉彎。
50 人團隊壯大...【林本堅專訪3】被譽為「浸潤式微影之父」「半導體界愛因 ... | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
台積電「浸潤式微影之父」林本堅出任清大半導體學院院長 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
林本堅發明浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
林本堅神推浸潤式微影技術ASML總裁嘆:是個奇蹟! | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
用「光」的藝術翻轉晶片發展「浸潤式微影之父」林本堅如何 ... | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
103 年度台灣精品獎獲獎產品 微機電光學元件複合組裝機
由「元利盛精密機械股份有限公司」生產的微機電光學元件複合組裝機獲得103年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎...
109 年度台灣精品獎獲獎產品 Micro Inspection System
由「台灣電鏡儀器股份有限公司」生產的MicroInspectionSystem獲得109年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:...
103 年度台灣精品獎獲獎產品 奈米壓印設備
由「和椿科技股份有限公司」生產的奈米壓印設備獲得103年度台灣精品獎,以下為此獎項詳細資料整理:得獎產品:奈米壓印設備...