共濺鍍 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
![共濺鍍](https://i.imgur.com/DERULla.jpg)
共濺鍍系統之優點在於能同時利用多個靶材進行濺鍍製程,可針對個別材料進行參數調整,搭配旋轉載台裝置可獲得相當均勻之薄膜沉積,且其薄膜品質再現性佳,可加熱到500℃, ...,濺射(sputtering),也稱濺鍍(sputterdeposition/coating),是一種物理氣相沉積技術,指固體靶target(或源source)中的原子被高能量離子(通常來自等離子體) ...,磁控共濺鍍主要用於-複合金屬或複合材料,通過分別優化每一支磁控濺鍍槍(靶材)的功率來控制薄膜品質,其薄膜厚度取決於濺鍍時間。SYSKEY的磁控共濺鍍腔提供了精準控制多 ...,腔體尺寸:500m...
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共濺鍍機— 國立成功大學 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
共濺鍍系統之優點在於能同時利用多個靶材進行濺鍍製程,可針對個別材料進行參數調整,搭配旋轉載台裝置可獲得相當均勻之薄膜沉積,且其薄膜品質再現性佳,可加熱到500℃, ... Read More
濺鍍 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
濺射(sputtering),也稱濺鍍(sputter deposition/coating),是一種物理氣相沉積技術,指固體靶target(或源source)中的原子被高能量離子(通常來自等離子體) ... Read More
磁控共濺鍍設備 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
磁控共濺鍍主要用於-複合金屬或複合材料,通過分別優化每一支磁控濺鍍槍(靶材)的功率來控制薄膜品質,其薄膜厚度取決於濺鍍時間。 SYSKEY的磁控共濺鍍腔提供了精準控制多 ... Read More
共濺鍍系統CO | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
腔體尺寸:500mm X 500mm X 400mm 2. 載台旋轉機構 3. 6吋視窗 4. 2吋磁控腔 5. RF-300W,DC-1000W 6. 渦輪高真空幫浦 7. 按鍵氣動互鎖保護 8. PC-510流量控制器 Read More
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