浸潤式微影技術wiki | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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微影製程(英語:photolithography)是半導體元件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到 ...,微影製程(英語:photolithography)是半導體元件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到 ...,因為他,193奈米浸潤式微影方式問世,改寫全世界半導體微影藍圖;因為他,...因為在浸潤式微影(ImmersionLithography)技術上的成就,台積電奈米影像技術研究發展 ...,極紫外光微影、超...
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微影 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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微影 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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極紫外光微影製程 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
極紫外光微影、超紫外線平版印刷術(英語:Extreme ultraviolet lithography,亦稱EUV ... 然而EUV光罩與傳統的光罩截然不同,當採用13.5nm波長的極紫外光微影技術時, ... Read More
浸潤式微影技術 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2013年10月13日 — 光波在真空裡面大概是193奈米的波長,它到了水之後,因為水的那個折射率是1.44,普通在真空是1,所以到了水裡,波長從193掉到134奈米,光的波長減短了,那 ... Read More
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電子束微影 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
電子束微影(electron beam lithography)指使用電子束在表面上製造圖樣的製程,是微影技術的延伸應用。 微影技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。 Read More
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