SOG 平坦化 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
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本发明公开了一种晶圆表面平坦化方法,包括:在有台阶的晶圆表面淀积第一层二氧化硅层;在所述二氧化硅层上面旋涂一层旋涂玻璃SOG层,所述SOG层在非台阶处的上表面高于 ...,2007年7月12日—為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spinCoating)方式,均勻地塗佈在晶圓表面,以填補沉積介電層凹陷 ...,1996年4月5日—除了提升SOG的平坦化能力以應付更嚴謹的製程需求之外,現有的SOG研發重點,尚包括如何降低旋塗式IMD的介電常數(DielectricConstant),以減少金屬 ...,SOG(spinonglasscoating)旋...
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CN102142368B | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
本发明公开了一种晶圆表面平坦化方法,包括:在有台阶的晶圆表面淀积第一层二氧化硅层;在所述二氧化硅层上面旋涂一层旋涂玻璃SOG层,所述SOG层在非台阶处的上表面高于 ... Read More
SOG | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
2007年7月12日 — 為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式,均勻地塗佈在晶圓表面,以填補沉積介電層凹陷 ... Read More
SOG | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
1996年4月5日 — 除了提升SOG 的平坦化能力以應付更嚴謹的製程需求之外,現有的SOG研發重點,尚包括如何降低旋塗式IMD的介電常數(Dielectric Constant) ,以減少金屬 ... Read More
SOG(旋轉塗布玻璃) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
SOG(spin on glass coating)旋轉塗布玻璃,為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。 SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗布(spin Coating)方式,均勻地塗布在晶圓 ... Read More
Spin on Glass (SOG) | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
旋塗式玻璃 (spin-on glass; SOG) 是形成薄膜也是平坦化一種方式,將溶於溶劑中的介電物質旋轉塗佈在需要平坦化的晶片上,使介電物質隨著溶劑填入溝渠中,再經過高溫 ... Read More
半導體旋轉塗佈玻璃(SOG)製程之材料特性探討 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
中文摘要本研究所探討的旋轉塗佈玻璃主要應用在局部平坦化製程上,用來填補CVD製作介電膜所產生的孔洞。本研要是拿三種SOG溶液來比較,一為Allied Signal SOG-314, ... Read More
新型SOG的特性及其在次微米平坦化技術的應用 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
由 吳宗松 著作 · 1992 — 標題: 新型SOG的特性及其在次微米平坦化技術的應用. CHARACTERISTICS AND APPLICATIONS OF NEW SILOXANE SOG IN SUBMICRON PLANARIZATION TECHNOLOGY. 作者: 吳宗松 Read More
電子半導體SOG spin on glass coating。旋轉塗佈玻璃。 | 台灣精品獎-歷屆得獎名單
為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式,均勻地塗佈在晶圓表面,以填補沉積介電層凹陷的孔洞。 Read More
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